Un altre és el mètode de fase Gas -, mètode de deposició de vapor químic (CAV), també conegut com a mètode de piròlisi, mètode sec o mètode de combustió. Les seves matèries primeres són generalment tetraclorur de silici, oxigen (o aire) i hidrogen, que reaccionen a temperatures altes.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO 2+4 HCl. L’aire i l’hidrogen són respectivament sotmesos a pressurització, separació, refrigeració i deshidratació, assecat de gel de sílice, eliminació de pols i filtració abans de ser enviats al forn d’hidròlisi sintètica. Després que la matèria primera del tetraclorur de silici s’enviï a la columna de destil·lació per a la destil·lació, s’escalfa i s’evapora a l’evaporador, i després s’envia al forn d’hidròlisi sintètica amb aire sec i filtrat com a portador. El tetraclorur de silici es vaporitza a temperatures altes (temperatura de la flama 1000 - 1800 graus) i després experimenta gas - hidròlisi de fase amb una certa quantitat d’hidrogen i oxigen (o aire) a uns 1800 graus. Arribats a aquest punt, les partícules de sílice en fase gasosa generades són extremadament fines i formen aerosols amb gasos, que són difícils de capturar.
Per tant, primer s’agreguen en partícules més grans en un agregador, després recollides per un separador de ciclons i s’envien a un forn de desacidificació. La sílice de fase gas - es renta amb nitrogen - que conté aire fins que el valor de pH sigui de 4 a 6, que és el producte acabat